国家知识产权局信息显示◈★,上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请一项名为“一种晶圆键合方法及晶圆”的专利long8◈★,公开号CN121237638A梦泽罗拉◈★,申请日期为2024年6月◈★。
专利摘要显示long8◈★,本发明提供了一种晶圆键合方法及晶圆long8◈★,包括◈★:S0◈★:提供第一晶圆和第二晶圆◈★;S1◈★:检测第一晶圆和/或第二晶圆的边缘是否有缺陷◈★;S2◈★:若第一晶圆和/或第二晶圆的边缘有缺陷◈★,对第一晶圆和/或第二晶圆的边缘进行切削◈★,在第一晶圆和/或所述第二晶圆的边缘形成缺口◈★;S3◈★:对缺口进行多次交替的沉积工艺和平坦化工艺梦泽罗拉梦泽罗拉◈★,以填满缺口◈★;S4◈★:将所述第一晶圆和所述第二晶圆键合◈★,得到键合晶圆long8◈★。本发明通过多次交替沉积和平坦化◈★,从而有效填补缺口long8◈★,并且保证晶圆边缘的平整度和形状符合后续工艺要求long8◈★,减少后续工艺中的变形和破裂风险梦泽罗拉◈★。
天眼查资料显示◈★,上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司◈★,成立于2020年梦泽罗拉◈★,位于上海市◈★,是一家以从事计算机梦泽罗拉◈★、通信和其他电子设备制造业为主的企业梦泽罗拉◈★。企业注册资本1150000万人民币◈★。通过天眼查大数据分析◈★,上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司参与招投标项目78次◈★,财产线条◈★,此外企业还拥有行政许可211个梦泽罗拉◈★。龙8国际唯一官网手游登录入口long8-龙8(中国)唯一官方网站◈★。long8官方网站登录◈★,龙八◈★。龙八国际娱乐官方网站◈★,long8官网登录◈★,龙8囯际◈★,龙8龙国际long8龙8游戏◈★,